用熱處理來增強氧化鋅中的氮摻雜

發(fā)布時間：2017-12-22 16:19 作者：氧化鋅

氧化鋅廠經(jīng)過熱處理來增強氧化鋅中的氮摻雜的研究工作現(xiàn)已打開。運用光致電子順磁共振技能（EPR），并在空氣或許氮氣氛下在600-900溫度范圍內退火，在運用該方法制備的氮摻雜氧化鋅晶體中，調查到了氮受主的構成。這一成果的原因是N在熱退火過程中替代為淺的施主雜質。
固源化學氣相淀積法（SS-CVD）也可以用來氧化鋅的N摻雜。二水醋酸鋅（Zn（CH3COO）2·2H2O, solid）和（CH3COONH4, solid）別離作為固體源和N源。試驗成果的樣品顯示出P型導電性，空穴濃度為9.8×1017 cm?3，電阻率20Ωcm，空穴遷移率0.97cm2 /V s。
雖然上面報道說現(xiàn)已成功的獲得了N摻雜的氧化鋅薄膜，但也有相當多的報道，作者沒有可以重復這些成果，即便選用相同的成長方式，相同的成長條件和相同的N源。因而，即便以為該陳述的成果表明是真實的p型氧化鋅，重現(xiàn)這些成果仍是一個大問題，而且這個問題必須得在氧化鋅應用于光電子學，如同質結LED和激光二極管（LDs）之前處理。最后，這個問題至少比及高效率注入的ZnO的p - n結才干處理。

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